[直立式管狀沉積系統]  [化學氣相沉積儀 ]  [長晶爐]  [RTA快速爐]                              Tender
　 　
1.主體：上部3區垂直式溫控與主機分離式 ，下部3個獨立管爐
                1-1  上部 加熱區域分成三區內徑：15cm，加熱區：

                總長50cm

　1-2  腔體真空一體成型與加熱元件及陶瓷纖維隔材

               ( Vacuum formed ceramic fiber with a low
        sodium inorganic bond.  In the units operating up to
       12000 Degrees C,)

　    1-3  三支熱電偶，校正用K-type熱電偶一支，100cm 

        1-4  可程式溫控：9組程式 ，每組9段

        感謝交通大學訂製

 

             

2.溫度範圍 : 室溫 〜 1000℃               

                2-1  精確度 ± 1 ℃， 具有均溫區範圍約

             10cm(200℃~600℃)

　   2-2  石英管, 內直徑5吋(12-13cm)，長度50(120cm)

       2-3  不 銹鋼管件，上下隔熱封口，固定式，及預

                留熱電耦使用插孔及排氣孔

        2-4  電壓220V，20A
3.下部直立式前驅物裝置     

              3-1  內徑1吋，高度6吋，加熱裝置 一組。內徑2

                     吋，高度6吋，加熱裝置 兩組。(內徑1吋，耐

                     高溫不銹鋼管, 長度大於35cm  一組)

              3-2  內徑2吋，耐高溫不銹鋼管，長度大於35cm

                    (可置入外徑1.5吋氧化鋁坩堝)

　          3-3  溫度範圍準確性：室溫 〜 200℃

　          3-4  3支K type熱電偶

　          3-5  3支不 銹鋼管進氣口。1吋一組，1/2吋兩組，
                     上下可調式，三者圓心排列，位置呈正三角型，
                     正三角形中心點正對石英管中心

4.其他附件

             4-1  氣體流量計3組，N2*2組，O2*1組，500cc/min

　   4-2  樣品架形狀為:垂直懸吊式倒T字型，不銹鋼圓

              板直徑10cm、長60cm*1組

　   4-3  旋轉馬達: 樣品架可旋轉式20rpm

　
  化學氣相沉積儀 　
主要規格及附件:

Ÿ 高溫爐規格:
   1.      溫度範圍: 1200℃
   2.      連續使用溫度: 1150℃  
   3.      加熱區長度: 450 mm 
   4.      內徑:Φ50mm
   5.      最大電壓: 2.0 Kw
   6.      電    源: 220V/1N 
   7.      爐管直徑: 50 mm
   8.      溫控系統: 2組8段程式控制
   9.    溫度採Low thermal mass insulation

Ÿ 石英管: 50*46*800mm x 1支

Ÿ 真空管件
   a. 進氣端不鏽鋼套1組
   b. 排氣端不鏽鋼套1組
   c. 4通不鏽鋼管件1式
   d. 球閥1式及快速接頭1式

Ÿ 真空  Pump  50L/min  1台

Ÿ 質量流量計 3 channel
   a: MFC5850E 1/4"SWG500sccm 非腐蝕性氣體 
   b: PC-540 Power Supply

                感謝中山大學訂購
長晶爐  　
長晶爐規格 :

二區式-上、下各一區 各別控制溫度
    1.   使用溫度範圍: 1100℃
    2.   連續使用溫度: 1100℃
    3.   加熱長度:6”2區 計12”
    4.   內徑: 2”
    5.   電  源: 220V/1N
    6.   石英爐管直徑: 1.5”
  7. 溫控系統:微電腦PID程控、可同時顯示操作
    及設定溫度
    8. Thermocouple: k-type

  步進馬達規格
     馬達上昇及下降速率20~30mm/day，可調整式 

　

　

　

　

　

　

　

　

             謝屏東教育大學訂製
RTA快速爐                                                                                Jiplet 美國