CVD熱處理爐
型號: 6-1
規格：
1. 溫度範圍: 1200℃
2. 連續使用溫度: 1150℃
3. 加熱區長度: 450 mm
4. 內徑:Φ50mm
5. 最大電壓: 2.0 Kw
6. 電 源: 220V/1N
7. 爐管直徑: 50 mm
8. 溫控系統: 2組8段程式控制
9. 溫度採Low thermal mass insulation
10. 石英管: 50*46*800mm x 1支
11. 真空管件
a. 進氣端不鏽鋼套1組
b. 排氣端不鏽鋼套1組
c. 4通不鏽鋼管件1式
d. 球閥1式及快速接頭1式
12. 真空 Pump 1台
13. 質量流量計 3 channel (告知gas-in 的氣體名稱，如H2、N2、AR、O2)
a: MFC5850E 1/4"SWG
500sccm 非腐蝕性氣體
b: PC-540 Power Supply
【廠牌： TENDER/台灣 】
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