真空快速退火爐
型號: RTP-150 Front loading
規格:
1. 石英玻璃室集成氣體入口和出口
2. 加熱方式：紅外線。總功率：21千瓦
3. 頂部和底部加熱
4. 加載系統：在處理腔室的石英玻璃盤
5. 晶圓尺寸：156mm
6. 控制器：快速PID溫度過程控制器
7. 50組50段程式
8. SPS控制器
9. 7”觸控式螢幕
10. 真空度：可達10exp.-3 hPa
11. 最高溫度：1000℃
12. 傾斜上升率：最大75°K/秒
13. 減速率：T =1000°C至400°C以下。 最大200 K /分鐘
14. T =400℃至100℃以下。 最大30 K /分鐘
15. 電壓：230V/3N/32A
16. 冷卻系統：水冷式
17. 材積： 505 x 504 x 550 mm (WxHxD)
18. 重量：65kg
【廠牌： UNITEMP/德國 】
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