不鏽鋼管件左右各一組
a.進氣端不鏽鋼套
．不鏽鋼套內徑配合氧化鋁管,用VITON 0-Ring
做真空密封
．需加裝H2, N2進氣口．
．打開式封口以方便樣品進出
b．排氣端不鏽鋼套
．不鏽鋼套內徑配合氧化鋁管,用VITON 0-Ring
做真空密封
．一排氣轉接頭
．一個thermal couple偵測孔
．接一個真空幫浦真空頭